Départements de recherche

Réunion des professionnels du réseau RENATECH - Gravure


Réunion des professionnels du réseau RENATECH

Mardi 28 et mercredi 29 mars 2017

Institut FEMTO-ST, 15 avenue des Montboucons - Besançon

photo renatech

Le réseau RENATECH, réseau national des grandes centrales de technologie du CNRS, organise une rencontre annuelle pour les professionnels du réseau ayant pour thème « la mise en forme des matériaux » avec un focus sur « la gravure et les masques ultimes ». Ces journées réuniront des collègues des divers groupes de compétence du réseau en lithographie, dépôt et gravure, et sera ouverte aux centrales de proximité partenaires.

Le programme propose des présentations courtes avec questions/réponses de façon à créer des échanges transversaux entre les participants.
Vous pouvez proposer une présentation en rapport avec la thématique et en particulier sur les sujets suivants :
- la gravure des nano et les verrous actuels
- la gravure à fort facteur d'aspect et les verrous actuels
- les différents types de masquage pour atteindre des performances ultimes (résines spécifiques, masques durs, …)

Des sessions posters auront lieu pour présenter votre centrale et ainsi favoriser les discussions et échanges sur vos technologies ou équipements spécifiques.
Des tables rondes plus thématiques suivant les divers groupes Renatech (Gravure, Dépôt et Lithographie, en fonction des centres d’intérêt des participants) permettront d’aborder des points techniques plus spécifiques à chaque ressource.
Enfin, quelques courtes interventions d'équipementiers ciblées sur la thématique et des visites de la salle blanche de FEMTO-ST seront proposées.

Ces journées seront un lieu d'échange et de partage entre professionnels sur :
• les machines, les performances, les pannes
• les nouveautés : procédés, matériaux, résultats, études en cours
• les problèmes rencontrés, les besoins : machines, procédés
• les fournisseurs : machines, produits
• les investissements en cours

Inscription 

ATTENTION : Date limite d'inscription fixée au 20 mars 2017
NOMBRE DE PLACES LIMITÉ À 50

Cette année nous interagirons avec nos collègues des divers groupes de compétence du réseau et des centrales de proximité.

Le nombre de places étant limité, en cas de dépassement de capacité nous tenterons de satisfaire toutes les demandes en respectant la représentativité des centrales et des thèmes.

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Infos pratiques

Toutes les informations pour vous rendre à FEMTO-ST

Pour planifier vos déplacements sur place, utilisez le site Ginko.

Contacts

Djaffar BELHARET: 03 81 66 55 83 - djaffar.belharet@femto-st.fr

Jean- Claude JEANNOT : 03 63 08 24 78 - jcjeannot@femto-st.fr

Pascal DUBREUIL : 05 61 33 79 36 - dubreuil@laas.fr