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Profilomètre Tencor Alpha Step IQ


Profilomètre Tencor Alpha Step IQ
Profilomètre Tencor alpha STEP IQ



Site :

Salle Blanche TEMIS
Zone Caractérisation


Caractéristiques techniques :

- Précision : 0.1 %
- Longueur max. de balayage : 10 mm de gauche à droite et 2 mm de droite à gauche
- Vitesse de balayage : de 2 à 200 µm/s
- Résolution latérale : donnée par la pointe diamant (cône de 60° et rayon terminal de 5 µm)
- Dimensions des échantillons : 4 pouces
- Hauteur des échantillons : jusqu'à 17,5 mm
- Force de contact : réglable de 1 à 100 mg
- Cale étalon : 6500 Å aluminium de Tencor Instruments


- Hauteur de marche mesurable :

de qq nm à 1 500 µm en 3 gammes :

o 0 - 20 µm
o 0 - 400 µm
o 0 - 2 000 µm

- Mesure de rugosité et d'ondulation :

o Affichage des paramètres Ra, Rq, Rt, Wa, Wq et Wt...
o Filtre cut-off : ajustable (typiquement 80 µm)