Départements de recherche

Testeurs sous pointes (BF + HF)


Testeurs sous pointes HF et BF
Testeurs sous pointes (BH + HF)


Contact :

Thomas BARON
Site ENSMM - Département Temps Fréquence
03 81 40 28 96 (Bureau)
thomas.baron@femto-st.fr


Site :

Salle des fours, ENSMM


Présentation :


L'Institut FEMTO–ST est équipé de 2 testeurs sous pointes de chez Süss Microtec permettant une caractérisation électrique de dispositifs réalisés en salle blanche. Un testeur est dédié aux composants basses fréquences (PM8) et un second est spécialement conçu pour les tests hautes fréquences (PM5). Le testeur dédié aux mesures hautes fréquences possède également un support chauffant permettant de réaliser des tests en température.

Testeurs sous pointes

Caractéristiques techniques :

- Taille des échantillons : jusqu'à 6"
- Support : diamètre 150 mm
- Gamme de température : 20°C à 200°C
- Déplacement XY : course 150 mm
- Résolution : 5 µm
- Répétabilité : 1 µm
- Ajustement en Z : 10 mm
- Déplacement en angle : 360 °
- Maintien par le vide




Exemple de mesure obtenue :


Testeur sous pointes_exemple de mesure

Mesure de l'amplitude et de la phase d'un capteur
à ondes de Love avec le testeur sous pointes HF