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Evaporation à canon à électrons pour couches minces


Evaporateur Alliance Concept
Evaporation à canon à électrons pour couche mince optique




Contact :

Cyril MILLON
Bâtiment TEMIS Sciences – Bureau N3-12
03 63 08 63 02 (Bureau)
03 63 08 23 77 (Salle Dépôt)
cyril.millon@femto-st.fr


Site :

Salle Blanche TEMIS
Zone Dépôt





Fonctionnement :

Cette machine permet de déposer des métaux et diélectriques sur tous les types de substrats isolants ou conducteurs. Possibilité d’installer un moteur à l’intérieur pour faire tourner des pièces comme des fibres optiques. En comparaison avec le dépôt par pulvérisation, l'homogénéité de l'épaisseur est améliorée (+/- 5%). De plus, le fait que le dépôt soit unidirectionnel facilite le lift-off des couches déposées.

Caractéristiques techniques :

- Gaz : N2, Ar, O2
- Canon à électrons Télémark (4 creusets)
- Porte-substrat : 7 wafers de 3 pouces ou 5 wafers de 4 pouces
- Chauffage substrat : jusqu’à 280°C
- Pas de sas de chargement
- Ligne de pompage : pompe primaire Alcatel 2063 et pompe secondaire turbo moléculaire

Matériaux évaporés :

Les matériaux couramment évaporés sont Ti, Al, Au, Cu, Pt, Cr, W, SiO2, Ta2O5…..

Exemples de réalisation :

- Réalisation de couches minces, optiques (TiO2 et SiO2 d’indice variable), électriques (contacts, électrodes, peignes interdigités ou techniques (Cr/Au pour soudure de deux wafers de silicium par thermo-compression)

- Réalisation de couches de titane et d’aluminium à grain très fin (<4nm) sur des pointes ou sur des fibres optiques, de multicouches pour miroir acoustiques (W/Al, et W/SiO2) et miroirs optiques (TiO2/SiO2) …

Pointe métallisée_Evaporateur

Pointe métallisée pour la réalisation d’un
thermocouple Al/SiO2/Cr

Miroir acoustique_Evaporateur

Miroir acoustique pour composants SAW