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Four triple tube pour oxydation et traitements thermiques


Four triple tube pour oxydation et traitements thermiques

Photo_Four triple tube


Contact :

Cyril MILLON
Bâtiment TEMIS Sciences – Bureau N3-12
03 63 08 63 02 (Bureau)
03 63 08 23 77 (Salle Dépôt)
cyril.millon@femto-st.fr


Site :

Salle Blanche TEMIS
Zone Dépôt et Fours








Description générale :

L’équipement consiste en trois fours de géométrie tubulaire (longueur 1 m) disposés horizontalement, chacun pilotable simultanément et indépendamment des autres. Des nacelles en quartz adaptées aux wafers de 3, 4 et 6 pouces sont utilisées pour centrer les plaquettes dans les fours. Chaque nacelle peut contenir jusqu’à 25 wafers.

Nacelle_Four triple tube



Fonctionnement :

Les trois tubes sont dédiés pour différents traitements thermiques comme détaillé par la suite :

1. Le tube 1 est réservé pour l’oxydation thermique humide (O2 + H2O) ou sèche (O2) du silicium. L’oxydation est un processus naturel qui implique la diffusion du silicium à travers la silice (SiO2) déjà formée. Ainsi, l’épaisseur de la couche en fonction du temps suit une loi logarithmique et, à partir de 100 nm, peut être estimée avec une précision de 5%.

Caractéristiques techniques du tube 1 :

- Diamètre tube : 20 cm
- Type d’oxydation : Sèche/humide
- Température d’oxydation : 1000° - 1100°C
- Température max. : 1200°C
- Rampe max. de montée en température : 100°C/min
- Gaz : Oxygène

2. Le tube 2 est dédié uniquement à la réalisation de l’étape de diffusion d’une couche de Titane dans un substrat de niobate de lithium (LiNbO3) : étape indispensable à l’obtention de guides optiques sur ce matériau.

Caractéristiques techniques du tube 2 :

- Diamètre tube : 17 cm
- Température diffusion : autour de 1000°C
- Température max. : 1200°C
- Rampe max. de montée en température : 100°C/min
- Gaz : Oxygène
- Substrat : Niobate de lithium uniquement

3. Le tube 3 est utilisé pour des traitements de recuit et glass reflow sous atmosphère contrôlée.

Caractéristiques techniques du tube 3 :

- Diamètre tube : 17 cm
- Température max. : 1200°C
- Rampe max. de montée en température : 100°C/min
- Gaz : Azote et Argon