Départements de recherche

Ligne Pilote


Ligne Pilote

Capteur de température SAW

Capteur de température SAW

Les systèmes de mesure fondés sur des capteurs passifs à ondes de surface (SAW en anglais) sont particulièrement adaptés à la mesure de grandeurs physiques telles que la température, la pression, les contraintes, etc. Ils peuvent être interrogés à distance sans qu’ils soient équipés d’une source d’énergie extérieure


Le marché des capteurs
Il est estimé à 46 Milliards de $ en 2006 (étude de marché du cabinet APRIM)
Récemment, le marché des microcapteurs seul a été estimé à 3,2 Milliards de $ en 2008, soit une progression de 18,5% par rapport à 2007 : il atteindra plus de 8,4 Milliards de $ en 2013 selon le cabinet BCC Research (Wellesley, USA).

Porteur du projet
L’Université de Franche-Comté, agissant pour le compte de l’Institut FEMTO-ST, sera propriétaire de l’infrastructure.

FEMTO-ST
L’institut FEMTO-ST, labélisé Carnot, est une unité mixte de recherche du CNRS de l’Université de Franche Comté, de l’ENSMM et de l’Université Technologique de Belfort-Montbéliard. Il regroupe les grands laboratoires de recherche franc-comtois sous forme de Départements dédiés à l’électronique, la thermique, la mécanique et l’optique sous une approche microtechnique associant sciences fondamentales et technologies de pointe. Il apporte notamment une expertise reconnue internationalement dans le domaine des dispositifs acoustiques à ondes de surface.

Opérateur industriel de la ligne : la société PZ~Tech
La société PZ~Tech sera créée et jouera le rôle d’opérateur, pour assurer - au moyen de cette ligne - la pré-production (prototypes et petites séries) de composants en quartz sur spécifications de clients extérieurs. Il s’agira de réaliser des prestations pour les besoins de ses clients parmi lesquels se trouve SENSeOR.

La société SENSeOR
Nouvellement créée à partir de l’activité capteur de TEMEX et fondé sur de nombreux partenariats avec le CNRS (FEMTO-ST, LEAT, L2MP par exemple), la société SENSeOR développe et commercialise des systèmes de télé-interrogation de capteurs passifs pour les mesures physiques (température, contraintes, pression, etc.) et de mesure de grandeurs biochimiques (adsorption de molécules – effets gravimétriques, viscosité, pH, etc.) exploitant les ondes élastiques guidées. Seule société industrielle française active sur ce créneau, SENSeOR a acquis une expertise reconnue internationalement et une position privilégiée pour le développement de capteurs spécifiques pour des applications dans le domaine automobile, de contrôle industriel sans fil, de suivi médical (température, pression), etc. SENSeOR propose déjà un kit de démonstration de mesures à distance pour la pression, la température ou les effets de contrainte. SENSeOR développe également une micro-balance utilisant des ondes de cisaillement pur (ondes de Love) permettant des expériences biologiques et chimiques en milieux aqueux, fondé sur des mesures gravimétriques. SENSeOR a particulièrement développé son activité en visant des marchés professionnels spécifiques, mais vise également des secteurs économiques plus vastes (le « Tyre Pressure Monitoring System » - TMPS -pour l’automobile par exemple).


Budget global de l’opération : 2,45 M€ (acquisition des équipements et aménagement de la salle blanche)

Financeurs du projet : FEMTO-ST (fonds propres via le RTB), Europe (fonds FEDER), Etat, OSEO, Conseil Régional de Franche-Comté, Conseil Général du Doubs, Communauté d’Agglomération du Grand Besançon, FUI


Planning depuis l’acquisition des équipements jusqu’à la mise en exploitation de la ligne
:
juillet 2007 à juillet 2010.

Utilisateurs de la ligne

- Des laboratoires publics de recherche (FEMTO-ST ou d’autres laboratoires via des projets communs avec FEMTO-ST) ;
- La société PZ~Tech, qui aura la responsabilité d’une tâche de réalisation suivant les plans et spécifications de tout client extérieur, ainsi que de la gestion de la ligne ;
- Une communauté d’industriels des microtechniques qui pourront faire effectuer des travaux de recherche via l’institut FEMTO-ST, et de développement via l’IPV (Institut Pierre Vernier) pour mettre au point des composants microtechniques innovants

Impact pour la recherche

L'équipement obtenu via ce projet est un équipement à l'état de l'art international comportant notamment un « stepper » qu'aucun laboratoire français académique ne possède jusqu'à présent.. Par ailleurs, divers équipements de lithographie (enduction de résine et développements automatiques), de dépôt (métaux,...), et de gravure (RIE) sont compris dans cette Ligne Pilote. La centrale de technologie MIMENTO de FEMTO-ST pourrait donc atteindre rapidement un niveau d'équipement voisin de celui des meilleures centrales de technologie internationales, sans pour autant dupliquer les compétences existant par ailleurs, dans la mesure où cet équipement est spécialisé sur des technologies Quartz qui ne sont développées nulle part ailleurs en France.
Cette Ligne Pilote permettra de soutenir directement l'un des points forts de FEMTO-ST qui est l'acoustique dans les solides (notamment les composants de type SAW, les cristaux phononiques, etc.), et de lui donner les moyens de rester compétitifs devant les meilleurs laboratoires internationaux dans ce domaine.

résonateurs et ligne à retard pour capteur sans fil interrogeables à distance

résonateurs et ligne à retard pour capteur sans fil interrogeables à distance