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Ligne industrielle de micro-fabrication

Photo-Ligne industrielle_piste


La ligne industrielle en quelques chiffres :

• 200 m² de salles blanches (classe ISO 5)
• 6 M€ d’équipements de très haute technologie


Qu’est-ce qu’une ligne industrielle de micro-fabrication ?

Il s'agit d'une ligne de production de haute technologie et adaptable dédiée à la fabrication de dispositifs par lots de façon automatisée. Cette ligne est une plateforme technologique qui permet la réalisation collective des étapes technologiques suivantes : enduction et développement automatiques de résines photosensibles, photolithographie par projection, lithographie haute résolution par photorépétition (stepper), dépôt de films minces métalliques par évaporation ou pulvérisation, dépôt de matériaux piézoélectriques (AlN), gravure humide, caractérisation microscopique par CD-SEM, caractérisation de métaux par fluorescence X, caractérisation électrique par testeur sous pointes ainsi que la conception des masques…


Quelles sont les spécificités de cette ligne industrielle ?

Les équipements de types industriels de cette ligne de production garantissent la qualité et la reproductibilité de la fabrication de prototypes et de petites séries. Ces machines permettent ainsi de fabriquer des composants par centaines, dans un environnement stable de type salle blanche. Par exemple, elle possède une ligne de lithographie automatisée utilisant un stepper qui lui permet de réaliser des micro-composants avec une excellente reproductibilité avec des résolutions allant jusqu'à 350nm.


Qui gère cette ligne industrielle?

La société Frec|n|sys, nouvellement créée, possède aujourd’hui l’exclusivité sur l’utilisation de cette ligne de production de haute technologie et joue le rôle d’opérateur pour assurer la pré-production (prototypes et petites séries) de composants sur spécifications de clients extérieurs. Il s’agit ainsi de réaliser des prestations pour les besoins de ses clients grâce à une équipe pluridisciplinaire. La société possède notamment une forte expérience dans le milieu des composants acousto-électroniques (Surface Acoustic Waves pour SAW, Bulk Acoustic Waves pour BAW…) particulièrement adaptés à la mesure de grandeurs physiques telles que la température, la pression, les contraintes… et potentiellement interrogeables à distance.
En juillet 2013, elle a été ainsi lauréate du concours national de création d’entreprise innovante, catégorie « Création et Développement».


Quels sont les types de dispositifs réalisés ?

Cette ligne industrielle permet notamment la micro-fabrication de composants sur matériaux piézoélectriques de type SAW (Surface Acoustic Waves) : des dispositifs à ondes élastiques de surface, puces électroniques servant à la réalisation de capteurs passifs (sans énergie à bord)…


Qui peut venir y travailler et comment ?

Le personnel de Frec|n|sys est le seul habilité à pouvoir travailler sur la ligne de production. En effet, Frec|n|sys dispose d’un contrat d’exploitation exclusif de la ligne. Néanmoins les relations étroites entre Frec|n|sys et le laboratoire FEMTO-ST permettent une fructification croisée des domaines de compétences.


Impact pour la recherche ?

Les équipements obtenus via cette ligne sont à l'état de l'art international, comportant notamment un « stepper » particulièrement adapté au traitement de plaques de quartz, niobate et tantalate de Lithium. La centrale de technologie MIMENTO de FEMTO-ST atteint donc un niveau d'équipement voisin de celui des meilleures centrales de technologie internationales. Cette ligne industrielle permettra de soutenir directement l'un des points forts de FEMTO-ST qui est l'acoustique dans les solides (notamment les composants de type SAW, les cristaux phononiques, etc.) et certaines applications en optique, et de lui donner les moyens de rester compétitifs face à la concurrence des meilleurs laboratoires internationaux dans ce domaine.


Qui sont les clients ?

Les clients sont des industriels de tous secteurs d’activités, comme par exemple AR Electronique, SENSeOR, Rakon, etc. et des laboratoires publics de recherche comme FEMTO-ST ou d’autres laboratoires via des projets communs avec FEMTO-ST.


Qui sont les financeurs ?

Le projet a reçu le soutien financier de l’État via l’ANR, de l’Europe grâce au FEDER, du ministère de l’Économie, des Finances et de l’Industrie par des fonds FUI, de la DRIRE (aujourd’hui DIRECCTE), des collectivités locales : Région de Franche-Comté - Conseil Général du Doubs - Communauté d’Agglomération du Grand Besançon, d’OSÉO ainsi que de FEMTO-ST (fonds propres via le réseau Renatech des grandes centrales de Technologie).

Photo-Ligne industrielle_zone centrale