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Bâti d'évaporation par effet joule Alcatel


Bâti d'évaporation par effet joule ALCATEL
Bâti d'évaporation par effet joule



Contact :

Jean-Jacques BOY
Site ENSMM
03 81 40 28 23
jean-jacques.boy@ens2m.fr

Site :

ENSMM



Fonctionnement :

Dépôt de couches minces par évaporation sous vide par effet Joule.



Caractéristiques techniques :

- Vide secondaire limite 5.10-7 mbar
- Evaporation de deux matériaux simultanément déposés dans 2 creusets différents
- Contrôle de l'épaisseur déposée
- Distance creuset - échantillon : 20 cm
- Porte-substrat tournant et chauffant (jusqu'à 400ºC)



Type de matériau déposé :

Chrome et Or pour nos applications