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Machines dédiées au rodage et au polissage SOMOS Inter


Machines dédiées au rodage et au polissage SOMOS Inter

Rodage et polissage double face d'échantillons cristallins (MDF400PR)



Contact :

Jean-Jacques BOY
Site ENSMM
03 81 40 28 23
jean-jacques.boy@ens2m.fr

Site :

ENSMM

MDF 400 PR  MDF400PR

Machine de Rodage                                                  Machine de Polissage



Fonctionnement :

Ces machines sont dédiées au rodage et polissage double face d'échantillons cristallins. Les pièces sont entraînées entre deux outils animés d'un mouvement planétaire imposé par la rotation de satellites porte-pièces entre un pignon rotatif et une couronne fixe.
La cinématique des pièces génère des faces planes et parallèles entre elles. La qualité du parallélisme est directement lié aux nombres de pièces à roder ou polir et donc à la surface en contact avec les plateaux. Un système automatique d'arrêt à la côte d'épaisseur assure la précision et la tenue de la tolérance d'épaisseur.


Caractéristiques techniques :

- Diamètre des plateaux :

380 mm permettant d'entraîner 5 satellites d'un diamètre de 138mm chacun en utilisant ”la petite piste” ou 7 satellites de 76mm de diamètre.


- Dimensions des pièces :
diamètre de 3'' au maximum


- Epaisseur minimale :
250µm au mieux sur la machine dédiée au rodage. Puis 80µm pour des pièces d'un diamètre de 15mm maximum sur la machine de polissage.


- Vitesse de rotation des plateaux :
0 à 120 tr/mn pour le rodage, 180 tr/mn pour le polissage


- Vitesse de rotation du pignon :
0 à 120 tr/mn


- Abrasifs :

     • Oxyde d'aluminium ou carbure de silicium (taille des grains environ 6µm) pour les opérations de rodage
    • Oxyde de cérium (taille des grains environ 2µm) ou silice colloïdale (grains de 30 à 50nm) pour le polissage avec plateaux équipés de feutre (= feutrine) ou de mousse de polyurétane


Type de matériaux « rodables » :
quartz, silicium, langasite, langatate, céramique…


Exemples de réalisation :

• Wafers carrés de quartz de 1.5 pouces et 380µm d’épaisseur
• Wafers silicium 3 pouces
• Wafers composites