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Dual Beam SEM / FIB FEI Helios 600i


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Dual Beam SEM / FIB FEI Helios 600i
FIB Helios






Contact :

Roland SALUT
Bâtiment TEMIS Sciences - Bureau N2-28
03 63 08 21 07 (Bureau)
03 63 08 20 11 (Salle FIB)
roland.salut@femto-st.fr


Site :


Salle Blanche TEMIS
Salle FIB









Fonctionnement :

La station double faisceau FEI Helios 600i est composée d’une colonne électronique et d’une colonne ionique, l’angle entre les deux colonnes est de 52°. La platine eucentrique est capable d’amener l’échantillon orthogonal à l’un ou l’autre des deux faisceaux. Des injecteurs de gaz (aiguille d’injection d’un précurseur à base de Pt représentée ici en bleu) permettent d’assister la gravure ou de réaliser des dépôts localisés.

schema principe Fib



L’interaction électron / matière est décrite dans l’onglet MEB. L’interaction ion / matière est représentée schématiquement ci-contre. Elle conduit à la pulvérisation du matériau (principal effet recherché) et à l’émission d’électrons mais également à l’échauffement du matériau et à la création de défaut.

fonctionnement fib


Caractéristiques techniques :

Elstar UHR immersion lens FESEM column :

- Electrostatic scanning
- Constant power lens technology
- Fast beam blanker (5 MHz)
- Landing voltage 50 V – 30 kV
- Probe current up to 22 nA

Electron beam resolution @ optimum WD
- 0.9 nm @ 15 kV
- 1.4 nm @ 1kV


Tomahawk ion column :

- Up to 60 A.cm² beam current density
- 15 apertures (1 pA – 65 nA)
- Landing voltage 500 V – 30 kV
Ion beam resolution @ coincident point
- 4.5 nm @ 30 kV

High precision 5-axes motorized stage :

- XY : 150 mm x 150 mm, piezo driven
- Z : 10 mm
- T : -10° to +60°
- R : 360° endless, piezo driven
- Tilt accuracy (between 50 and 54°) 0.1°

Detectors :

- Elstar in-lens SE detector (TLD-SE)
- Elstar in-lens BSE detector (TLD-BSE)
- Everhart-Thornley SE detector (ETD)
- High contrast BSE detector (DBS)
- SE and SI detector (ICE)
- IR Camera / NavCam

Gas Injection System :

- Platinum deposition
- Insulator deposition (SiOx)
- Enhanced etch (iodine)
- Insulator enhanced etch (XeF2)

Others :

- 3D reconstruction (slice & view)
- Flood Gun

Raith Elphy Multibeam :

- GDSII editor
- 50 ns min. dwell time
- Drift correction
- Overlay and stitching possible, accuracy function of used beam and field size


Exemples de réalisations :

Billes d'étain_FIB FEI

Image SE de billes d’étain

Dépôt Pt_FIB FEI

Dépôt localisé de Pt sous faisceau ionique

Antenne_FIB FEI

Antenne papillon gravée en extrémité de fibre optique métallisée

Coaxes_FIB FEI

Coaxes gravés dans une couche d’or

Cristal photonique_FIB FEI

Cristal photonique gravé dans le matériau niobate de lithium (LiNbO3)