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Les films secs photosensibles


Les films secs photosensibles


La résine photosensible se présente sous forme d’un film sec relativement épais (plusieurs microns à plusieurs dizaines de micron) protégé par 2 feuilles de polymère. Ce film de résine ne s’applique pas par centrifugation, il est déjà sous forme solide. Il est appliqué au moyen d’un laminoir.

Principe_film secLaminoir_Film sec

Principe du laminage d’un film sec                            Laminoir 360/N de Rohm and Haas Electronic


L’intérêt réside dans la rapidité de fabrication d’un motif épais en résine, surtout qu’il est possible de laminer feuille sur feuille.

Voici quelques exemples de réalisation :

Film sec SU-8Film sec SU-8_1

Film sec SU-8 microform DF 1020
1 feuille : 18 µm                                                            3 feuilles : 54 µm

Film sec LAMINARFilm sec LAMINAR_1

Film sec LAMINAR® E7820 - 1 feuille : 50 µm

Dispo fluidique SU-8Dispo fluidique SU-8_1

Micro-dispositif fluidique à 2 niveaux réalisé à partir de feuilles de SU-8 microform DF 1020

Couvercle SU-8Couvercle SU-8_1

Réalisation d’un couvercle : motif escargot de 250 µm en SU-8 structuré à partir d’une résine «visqueuse» recouvert d’un film sec SU-8 microform DF 1020 appliqué par laminage