Départements de recherche

Spray Coating


Spray Coating
Enduction de surfaces de forte topologie
Spray1



Contact :

Laurent ROBERT
Bâtiment TEMIS Sciences - Bureau N1-21
03 81 66 66 47 (Bureau)
03 63 08 23 81 (Salle Lithographie Masqueur)
laurent.robert@femto-st.fr


Site :

Salle Blanche TEMIS
Zone Lithographie






Principe de fonctionnement :


Un flux de résine est mélangé à un flux d’azote, puis est guidé au travers d’un fin capillaire. En sortie de la buse, nous obtenons des microgouttes composées d’un mélange résine/solvant. Le but est d’obtenir un matériau suffisamment sec pour ne plus être sensible aux effets de gravitation et tension de surface. Plusieurs paramètres sont modifiables afin d’être dans ce cas : le solvant, le débit de résine, la distance buse/substrat, la pression d’azote, la température du porte-substrat et la vitesse d’avance de la buse.

Spray2



Caractéristiques techniques :

- Taille des substrats : jusqu’à 4 pouces, de forme quelconque
- Recouvrement conforme : pentes positives et négatives
- 2 buses de spray : 1 pour résine positive & 1 pour résine négative
- Épaisseur de résine : minimum 4 µm (moins de 3 µm possible, mais recouvrement des pentes non étudié)
- Stratégie du balayage : 4 passages (soit ≈ 1 µm par passage)
- Tenue des échantillons : vide ou ruban adhésif
- Durée du procédé : 5 minutes


Résines utilisées actuellement :

- S1813 : Épaisseur de 3 à 8 µm
- SU-8 : Épaisseur de 8 à 20 µm


Résines à l’étude : résines AZ (4999, 9260…)


Exemples de réalisation :

Spray3

Recouvrement de pentes positives et négatives

Prisme1_Spray coatingPrisme2_Spray coating

Recouvrement de substrats non conventionnels (prismes d’épaisseur 10 et 5 mm)