FEMTO-ST-Franche Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et TechnologiesLe projet Quartz-Tech consiste à créer une ligne dédiée à la microfabrication de composants piezoélectriques de type SAW (Surface Acoustic Waves).
Cette microfabrication est réalisée dans les salles blanches de l’Institut FEMTO-ST, sur le site de Temis (maison des microtechniques) à Besançon.
L’une des originalités du projet consiste à partager cette ligne entre la recherche et l’industrie.
Cette ligne, qui se veut être une plateforme technologique, sera unique en France et se positionne donc dans un schéma de concurrence mondiale.
Le projet en détails
Machine de lithographie haute résolution
