FEMTO-ST-Franche Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies
Video de présentationDe la recherche fondamentale au partenariat industriel
Principaux équipements
Chapitres
- Ligne Pilote
- Principaux équipements
Principaux équipements
Stepper
Piste d'enduction automatique
Lithographie par projection
Caractérisation
Evaporation
Cluster de dépôt sous vide
RIE Quartz
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Dernière modification : 2008-10-14
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