Départements de recherche

Ellipsomètre


Ellipsomètre

Description :

L'ellipsomètrie est une méthode non destructive de mesure de l'indice et de l'épaisseur de fines couches diélectriques. C'est une technique qui permet d'obtenir la réponse optique d'un matériau en étudiant la modification de l'ellipse de polarisation d'un faisceau incident lors de la réflexion de ce faisceau sur la surface de l'échantillon.

Ellipsomètre spectroscopique Jobin-Yvon (UVISEL-NIR)

Ellipsomètre spectroscopique Jobin-Yvon (UVISEL-NIR)

Caractéristiques :

  • Gamme spectrale de mesure : 260 << 2100 nm
  • Taille du spot réglable (système microspot) : 50, 100 et 1000 m
  • Source Xe 75 W
  • Tête d'analyse équipée d'un modulateur photoélastique thermiquement stabilisé monté sur une platine de rotation automatique (fréquence de modulation : 50 kHz)
  • Monochromateur double sortie à haute résolution HR460 avec extension proche infra-rouge (résolution typique : 0,1 nm)
  • 2 détecteurs : un photomultiplicateur et un détecteur InGaAs
  • Porte échantillon : diamètre 6 pouces avec réglage de l'assiette et ajustable en rotation
  • Réglage manuel de la hauteur , épaisseur max = 20 mm
  • Goniomètre automatique : réglable de 40 à 90 degrés par pas de 0 ,05 degré (précision de 0,01 degré)
  • Equipé d'une lunette autocollimatrice
  • Logiciel d'extraction de l'épaisseur et de l'indice : DeltaPsi2 (version 2.0)
  • Possibilité de mesure en transmission
home