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Microscope électronique à balayage Leica Electron Optic Stereoscan 440

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Microscope électronique à balayage (MEB)

Leica Electron Optic Stereoscan 440
Microscope électronique à balayage

Caractéristiques :

  • Canon thermoélectronique à filament de tungstène
  • Tension d'accélération : de 300 V à 30 keV
  • Courant du faisceau électronique (courant de sonde) : de 1 pA à 1 µA
  • Grossissement : de 10 à 300.000 ×
  • Résolution : 5 nm
  • Porte substrat : jusqu'à 4 pouces
  • Course en X et Y : ± 50 mm
  • Course en Z : ± 15 mm
  • Tilt : de 0 à 90 °
  • Rotation : 360 °
  • Vide de travail : de 1.10-6 à 1,3.10-4 mbar
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