De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Profilomètre Tencor Alpha Step IQ

Profilomètre Tencor Alpha Step IQ
Profilomètre Tencor Alpha Step IQ

Caractéristiques :

  • Précision : 0,1 %
  • Longueur max. de balayage : 10 mm de gauche à droite et 2 mm de droite à gauche
  • Vitesse de balayage : de 2 à 200 µm/s
  • Résolution latérale : donnée par la pointe diamant (cône de 60° et rayon terminal de 5 µm)
  • Dimensions des échantillons : 4 pouces
  • Hauteur des échantillons : jusqu'à 17,5 mm
  • Force de contact : réglable de 1 à 100 mg
  • Cale étalon : 6500 Å aluminium de Tencor Instruments

Mesure d'épaisseur

  • Hauteur de marche mesurable : de qq nm à 1 500 µm en 3 gammes :
  • 0 - 20 µm
  • 0 - 400 µm
  • 0 - 2 000 µm

Mesure de rugosité et d'ondulation

  • Affichage des paramètres Ra, Rq, Rt, Wa, Wq et Wt...
  • Filtre cut-off : ajustable (typiquement 80 µm)
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