De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Profilomètre optique FOGALE NANOTECH

Profilomètre optique FOGALE NANOTECH
Profilomètre optique Fogale Nanotech

Caractéristiques :

  • type d'objectif (mirrau x10, x20, x40, michelson x5)
  • type de bague (x1 ou x0,5)
  • réflectivité du miroir : 5, 25, 50 ou 85 %
  • plage de mesure en Z : limitée à 180 µm
tableau 4
  • Mesure en lumière blanche : FIR = mesure à glissement de franges, utilisée pour les mesures avec une dynamique importante. (précision : qq nm)
  • Mesure en lumière verte : (appuyer sur le filtre = mesure à décalage de phase) Utilisée pour les mesures avec une dynamique inférieure au micron et sans discontinuité franche (pente < à lambda/2, soit 273 nm) ou pour les mesures de rugosité (précision : 0.1 nm dans les conditions optimales)
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