De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Système d'analyse XPS (Thermo VG)


Système d'analyse XPS (Thermo VG)
Système d'analyse XPS (Thermo VG)

Caractéristiques :

La spectrométrie de photoélectrons X permet de caractériser l'état chimique ainsi que la structure électronique des éléments constitutifs des couches atomiques les plus externes. Celle-ci permet donc la caractérisation à l'échelle nanométrique de la structure cristalline et de la composition chimique des surfaces et des interfaces, mais également l'analyse in-situ de leur évolution en cours de réaction.

Le dispositif XPS est constitué :

  • d'une source de rayons X présentant un angle de 45° avec la surface,
  • Sas d'introduction multiéchantillons,
  • d'une chambre d'analyse où l'irradiation de la cible a lieu
  • d'un système de détection et d'analyse placés selon la normale à la surface, et d'un système de manipulateurs (4 axes, /- 12,5mm Z=50 mm ) avec élément chauffant (750°C ) (possibilité de faire des études en température)

L'ensemble de ce dispositif fonctionne en permanence avec un vide de l'ordre de 10-10 Torr

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