De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Testeurs sous pointes (BF + HF)

Testeurs sous pointes (BF HF)
Testeurs sous pointes (BH + HF)

L'institut FEMTO – ST est équipé de 2 testeurs sous pointe de chez Suss Microtec pour le test des dispositifs réalisés en salle blanche. Un testeur est dédié aux composants basses fréquences (PM8) et un second est spécialement conçus pour les test hautes fréquences (PM5).

Caractéristiques :

  • Taille des échantillons : jusqu'à 6"
  • Chuck : diamètre 150 mm
  • Déplacement X Y : course 150 mm
  • Résolution : 5 µm
  • Répétabilité : 1 µm
  • ajustement en Z : 10 mm
  • déplacement en angle : 360 °
Testeurs sous pointes
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