FEMTO-ST-Franche Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies

Pulvérisation Cathodique PLASSYS

Pulvérisation Cathodique PLASSYS

Caractéristiques :

• Cibles disponibles : Ni, Cr, Au, Al, Ti, W, Cu
• Cathodes : 3 cathodes magnétron 4 pouces
• Porte substrat chauffant
• Source d'évaporation effet joule

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