FEMTO-ST-Franche Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies
Video de présentationDe la recherche fondamentale au partenariat industriel
Pulvérisation Cathodique PLASSYS
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Pulvérisation Cathodique PLASSYS
Caractéristiques :
- Cibles disponibles : Ni, Cr, Au, Al, Ti, W, Cu
- Cathodes : 3 cathodes magnétron 4 pouces
- Porte substrat chauffant
- Source d'évaporation effet joule
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Dernière modification : 2007-03-20
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