FEMTO-ST-Franche Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies

Gravure Chimique

Chimie

Description :

Les matériaux massifs ou en films minces sont gravés en milieu humide à l'ambiante ou en bains thermostatés. Une grande gamme de graveurs (ou etchants) est disponible permettant d'effectuer des gravures plus ou moins sélectives. Ces graveurs sont des solutions chimiques acides ou basiques aux concentrations bien établies pour l'application visée.
Les gravures standards pour les applications micro-systèmes concernent notamment les gravures du silicium et de la silice.

Paillasse d'usinage humide (KOH BHF) (IPV)

Paillasse de Si poreux

Paillasse d'électroformage (Ni-Cu-Au)

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