De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Microfabrication électrolytique

Microfabrication électrolytique
Paillasse d'électroformage (Ni-Cu-Au)

Caractéristiques :

  • Substrat : métalliques ou métallisés jusqu'à 5 pouces carrés
  • Type de dépôt : nickel, cuivre et or par immersion
  • Température de l'électrolyte : 50 °C
  • Vitesse de dépôt : quelques µm/h à plusieurs dizaines de µm/h
  • Épaisseurs : limitées par la hauteur du moule de résine(typiquement plusieurs dizaine de microns)

Caractéristiques mesurées du nickel électroformé:

  • Module d'Young : 200 GPa
  • Dureté : 300 à 600 Hv
  • Limite d'élasticité : 300 MPa
  • Rugosité(Rt) : 0,8 à 1,2 µm
  • Contraintes intrinsèques :
  • de -30 à 20 MPa sur Cu
  • de 140 à 220 MPa sur Si

Exemples de réalisation :

Plot

Plot

Micromoteur

Micromoteur

Peignes interdigités à haut facteur de forme

Peignes interdigités à haut facteur de forme

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