De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Goniomètre SCASI

Goniomètre SECASI

Goniomètre pour le contrôle de l'orientation d'un échantillon cristallin

L'orientation des chantillons (découpés par exemple par la scie annulaire) peut être contrôlée à l'aide d'un goniomètre à rayons X utilisant la loi de Bragg. Si la précision absolue est de l'ordre d'une minute d'angle, la répétabilité de la mesure est de 10'' d'arc.

Goniomètre SECASI

Goniomètre SECASI

Goniomètre, prototype LCEP

Goniomètre, prototype LCEP

En plus du goniomètre SECASI, dédié aux applications industrielles (petites ou moyennes séries), nous avons fabriqué un prototype piloté par un logiciel "home made" permettant de mesurer l'orientation de n'importe quel wafer dont nous possédons les constantes cristallographiques (SiO2, LGS, LGT, TaLiO3, NbLiO3, GaPO4, Si, GaAs...). La seule condition est qu'il doit avoir deux faces parallèles et être inscrit dans un volume dont toutes les dimensions sont inférieures à 20 mm. La détermination de la direction d'un axe cristallographique dans le plan de l'échantillon est aussi possible.

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