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Microscope interférométrique


Microscope interférométrique
Microscope interferométrique



Contact :

Jean-Jacques BOY
Site ENSMM
03 81 40 28 23
jean-jacques.boy@ens2m.fr

Site :

ENSMM




Fonctionnement :


Le microscope interférométrique est composé :

- d'une source lumineuse avec 2 longueurs d'onde
- d'un système interférométrique (miroir de référence, cube séparateur)
- d'un système de translation piézoélectrique suivant l'axe vertical
- d'un support d'échantillon avec translation suivant X et Y et d'une caméra CCD

Le tout est relié à un PC pour définir les différents paramètres de la mesure qui repose sur l'analyse des interférences, résultant de la recombinaison entre la lumière réfléchie par l'échantillon et celle réfléchie par le miroir de référence.


Caractéristiques techniques :

- 2 zooms possibles : x10 et x50
- Profondeur maxi mesurable : 192µm dépendant de la résolution
- Possibilité de voir la pièce mesurée en 3D, en courbe de niveau et d'obtenir le profil suivant une ligne
- Surface maximale mesurable avec objectif x10 : 1.25mm - x50: 0.94mm
- Précision des mesures : <1nm (résolution maximale)


Exemples de réalisation :

Très utile au département Temps-Fréquence pour mesurer les rugosités des résonateurs fabriqués dans différents matériaux piézoélectriques → aide au choix du procédé de rodage et polissage pour un cristal donné.

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