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Microscope interferométrique


Microscope interferométrique
Microscope interferométrique

Il est composé :

  • d'une source lumineuse avec 2 longueurs d'onde
  • d'un système interférométrique (miroir de référence, cube séparateur)
  • d'un système de translation piézoélectrique suivant l'axe vertical
  • d'un support d'échantillon avec translation suivant X et Y et d'une caméra CCD

Le tout est relié à un PC pour définir les différents paramètres de la mesure qui repose sur l'analyse des interférences résultant de la recombinaison entre la lumière réfléchie par l'échantillon et celle réfléchie par le miroir de référence.

Caractéristiques :

  • 2 zooms possibles : x10 et x50
  • Profondeur maxi mesurable : 192µm qui dépend de la résolution
  • Possibilité de voir la pièce mesurée en 3D, en courbe de niveau et de d'obtenir le profil suivant une ligne.
  • Surface maximale mesurable, avec objectif x10 : 1.25mm x50: 0.94mm
  • Précision des mesures : < à 1 nm (résolution maximale)
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