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Nanotechnologies


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La centrale de technologie MIMENTO possède deux appareils permettant des réalisations à l’échelle sub-micrométrique. Le FIB permet de réaliser des gravures localisées par faisceaux d’ions avec une très grande précision tandis que la station de lithographie par faisceaux d’électrons (Ebeam) permet de nanostructurer des résines électro-sensibles.

Photo_Nanotechnologie


Équipements :

FIB Helios
    Litho1


    Contact :

    roland.salut@femto-st.fr