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Nanotechnologies


Nanotechnologies

Description :

La centrale de technologie MIMENTO possède deux appareils permettant des réalisations à l’échelle sub-micrométrique. Le FIB permet de réaliser des gravures localisées par faisceaux d’ions avec une très grande précision tandis que la station de lithographie par faisceaux d’électrons (Ebeam) permet de nanostructurer des résines électro-sensibles.

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Équipements :

FIB Helios




  • Gravure par faisceaux d'ions focalisés (FIB)




Litho1


Contact :

roland.salut@femto-st.fr

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