FEMTO-ST-Franche Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies
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Nanotechnologies
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Description :
La centrale de technologie MIMENTO possède deux appareils permettant des réalisations à l’échelle sub-micrométrique. La station de lithographie par faisceau d’électrons (Ebeam) permet ainsi de nanostructurer des résines électro-sensibles tandis que le FIB permet de réaliser des gravures localisées par faisceau d’ions avec une très grande précision.
Bâti de gravure ionique focalisée FIB, ORSAY PHYSICS
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Dernière modification : 2010-12-13
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