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Ressource Photolithographie


Ressource Photolithographie


La centrale de technologie MIMENTO possède une ressource dédiée à la lithographie qui permet de déposer localement une résine photosensible servant de masque de protection pendant la structuration d’un substrat ou le dépôt d’une couche mince suivant un design réalisé à l’aide de notre masqueur.

Photo_Photolithographie



Principes / Résines photosensibles :

- Principe de la Photolithographie

- Les résines photosensibles

- Les résines épaisses

- Les films secs photosensibles

- Amazing shots from the photolithographic zone


Les résines utilisées à MIMENTO sont les suivantes :

Tableau résines_Fiche ressource Lithographie



Principaux équipements :

Mask1

Aligneur Double Face EVG

Spray1


Contact :

laurent.robert@femto-st.fr