De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Aligneur EVG 620

Aligneur EVG 620

Aligneur Double Face EVG 620
Aligneur Double Face EVG

Caractéristiques :

  • Taille des masques : 3, 4 ou 5 pouces.
  • Substrats : 2, 3 ou 4 pouces.
  • Puissance typique de la lampe : 13 mW/cm2
  • Mode d'exposition : temps ou énergie constante
  • Type de plaquages : proximité, soft contact, hard contact ou vacuum contact (chambre à vide)
  • Précision de l'alignement : 0,5 µm (alignement par le dessus) 1 µm (alignement par le dessous)
  • Résolution théorique :
  • soft contact : < 2 µm
  • hard contact : 0,8 à 1,5 µm
  • vacuum contact : 0,6 µm
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