De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Aligneur Simple Face SET

Aligneur MG1410

Aligneur Simple Face SET
Aligneur Simple Face SET

Caractéristiques :

  • Taille des masques : 3, 4 et 5 pouces.
  • Ouverture utile : carrés de 60 et 76 mm de côté.
  • Porte substrat : jusqu'à 4 pouces.
  • Microscope d'alignement : monoculaire, grossissement de 8 à 40
  • Puissance typique de l'insolateur : de 10 à 20 mW/cm2
  • Plaquages : " soft contact " ou " vacuum contact " avec chambre à vide
  • Résolution : les plus petits motifs insolés et développés font 1,5 µm en " vacuum contact "
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