De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Les résines photosensibles

Résine

Les résines photosensibles

Plusieurs types de résines sont disponibles selon le but à atteindre :

  • les résines négatives pour lesquelles le rayonnement ultraviolet entraîne une polymérisation des zones exposées, conférant ainsi à ces zones une tenue particulière au solvant de révélation alors que les parties non insolées disparaissent sélectivement dans ce solvant,(par exemple, la résine SU-8) .
  • les résines positives pour lesquelles le rayonnement UV produit une transformation chimique des macromolécules, entrainant une solubilité accrue des zones exposées dans le révélateur, (résines AZ 9260, S1818 et SJR 5740).
  • les résines inversibles, qui ont la propriété de changer de polarité suite à une étape de recuit dit d'inversion (AZ 5214, TI09XR)

L'ensemble des résines photosensibles s'utilisent en films minces (quelques fractions de micromètre à plusieurs micromètres), uniformes, de grande qualité et adhérents.

Pour la réalisation de moule LIGA , des résines à haute viscosité sont nécessaires pouvant offrir des épaisseurs beaucoup plus importantes, de plusieurs dizaines de micromètres (AZ 9260) à plusieurs centaines de micromètres (SU-8). Elles se caractérisent par leur capacité à produire des motifs aux facteurs de forme élevés (rapport de la hauteur sur la plus petite dimension).

Pour la réalisation de moule LIGA , des résines à haute viscosité sont nécessaires pouvant offrir des épaisseurs beaucoup plus importantes, de plusieurs dizaines de micromètres (AZ 9260) à plusieurs centaines de micromètres (SU-8). Elles se caractérisent par leur capacité à produire des motifs aux facteurs de forme élevés (rapport de la hauteur sur la plus petite dimension).

Résine particulière pour gravure plasma :
Certaines résines comme la SPR220 ont été spécialement développées pour servir de masque pour la gravure plasma et en particulier pour le procédé "BOSCH" de la DRIE.

Résine particulière pour LIFT-OFF : une des méthodes pour réaliser des motifs métalliques consiste à pulvériser le métal sur des motifs de résine dont le flanc est l' inverse de celui traditionnellement obtenu en développement de résine positive, de manière à pouvoir dissoudre le polymère recouvert par le métal. C'est la technique du Lift-off. La résine AZ 5214 traitée en inversion, donnant la polarité inverse de celle du masque, est largement utilisée pour des épaisseurs de films métalliques jusqu'à environ 500 nm. Au delà, une résine particulière, LOR30B, permet de déposer des films, métalliques ou non, jusqu'à 4,5 µm.

Deux méthodes sont utilisées :

Méthode

Méthode "LIFT-OFF"

Méthode























Méthode "DIRECTE"

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