De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Spray Coating

Spray Coating
Enduction de surfaces de forte topologie
Spray1

Machine : AltaSpray8








Contact :
Laurent ROBERT
Site MN2S
03 81 85 39 79
laurent.robert@femto-st.fr

Site Machine :
Salle Blanche TEMIS
Zone Lithographie

Spray2









Principe de fonctionnement :

Un flux de résine est mélangé à un flux d’azote, puis est guidé au travers d’un fin capillaire. En sortie de la buse, nous obtenons des microgouttes composées d’un mélange résine/solvant. Le but est d’obtenir un matériau suffisamment sec pour ne plus être sensible aux effets de gravitation et tension de surface. Plusieurs paramètres sont modifiables afin d’être dans ce cas : le solvant, le débit de résine, la distance buse/substrat, la pression d’azote, la température du porte-substrat et la vitesse d’avance de la buse.


Caractéristiques techniques :

- Taille des substrats : jusqu’à 4 pouces, de forme quelconque
- Recouvrement conforme : pentes positives et négatives
- 2 buses de spray : 1 pour résine positive & 1 pour résine négative
- Épaisseur de résine : minimum 4 µm (moins de 3 µm possible, mais recouvrement des pentes non étudié)
- Stratégie du balayage : 4 passages (soit ≈ 1 µm par passage)
- Tenue des échantillons : vide ou ruban adhésif
- Durée du procédé : 5 minutes


Résines utilisées actuellement :

- S 1813 : Épaisseur de 3 à 8 µm
- SU-8 : Épaisseur de 8 à 20 µm

Résines à l’étude : résines AZ (4999, 9260…)


Exemples de réalisation :

Spray3

Recouvrement de pentes positives et négatives

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