De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Four à oxydation TEMPRESS OMEGA junior

Four à oxydation TEMPRESS OMEGA junior
Four à oxydation TEMPRESS OMEGA junior

Caractéristiques :

  • L'oxydation s'effectue par la réaction d'un gaz oxydant sur une surface de silicium à haute température (800 - 1150°C)
  • Oxydation Humide :Si 2H2O (gaz) -> SiO2 2H2
  • Température max : 1300 °C
  • Gaz : O2 ( barbotage)
imprimer Haut de page
version : fr ⇒ version : en