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Les équipes de recherche du département MN2S

Micro Instrumentation, NANosciences et ondes (MINANO)

Guide phononique coudé

Guide phononique coudé

Historique
L'équipe MINANO a été créée en 2008 à partir d'éléments des départements LPMO et CREST. Elle est basée sur une approche pluridisciplinaire des nanosciences (liant physique appliquée, électronique, chimie moléculaire, photons et phonons) et l'accent est mis sur l'instrumentation.
Thématiques et objectifs
L'équipe produit des connaissances sur les composants à l’échelle micro- et nanoscopique et développe les outils nécessaires pour leur fabrication et leur observation. Les recherches sont menées sur trois fronts principaux : (i) les cristaux phononiques et les interactions phonon-photon exaltées, (ii) les nanodispositifs moléculaires sur substrats semiconducteurs et (iii) le développement de systèmes d’instrumentation à haute résolution (microscopes à champ proche, vibromètres, antennes, sondes locales, etc.).
Spécificités et points forts
De nombreux laboratoires sont actifs sur nos thématiques (par exemple IEMN, INSP, Institut Langevin). Notre spécificité dans un laboratoire d'ingénierie est le profil pluridisciplinaire de l'équipe et sa capacité à allier conception, fabrication (top-down et bottom-up), modélisation et caractérisation. L'activité sur les cristaux phononiques a une visibilité internationale et s'appuie fortement sur la centrale de technologie MIMENTO. Nos réalisations d'architectures moléculaires contrôlées sur substrats semiconducteurs sont les seules à être stables à température ambiante à l'heure actuelle.

L'équipe est animée par Abdelkrim Khelif. Accéder aux pages de l'équipe MINANO.

Microsystèmes Multiphysiques (MIMU)

Microhorloge MEMS

Historique
Équipe créée en janvier 2008 regroupant les activités “microsystème” de FEMTO-ST pour faire face à la compétition nationale et internationale. Elle est composée des chercheurs et chercheurs-enseignants provenant du LPMO (2 CR, 1 PR, 2 MC, 1 AI), LOPMD (1 DR), LCEP (1 PR), CREST (1 MC) et complétée par 2 recrutements extérieurs (2006 : 1 MC et 2008: 1 PR).
Thématiques et objectifs
Réalisation des microsystèmes multiphysiques complexes et innovants, intégrant des fonctions avancées en optique, mécanique, acoustiques, thermiques et biochimiques. On fait appel principalement à des technologies de microfabrication à base de silicium mais également à celles de polymères, matériaux piézo-électriques ou le verre. L’activité s’organise en 4 thématiques : (i) microsystèmes optiques; (ii) microsystèmes pour le biomédical ; (iii) microcomposants fluidiques et thermiques; et (iv) microfabrication de microcomposants multi-matériaux.
Spécificités et points forts
L’assise de l’activité de microsystèmes optiques sur silicium, reconnue nationalement et internationalement, est renforcée par une participation à plusieurs projets européens. L’émergence récente de l’axe «microsystèmes pour le biomédical», comme une deuxième thématique forte de l’équipe, apporte une coopération étroite avec le milieu hospitalier et combine l’ingénierie biochimique, les capteurs résonnants et la microfluidique. Le développement des outils de microfabrication, et notamment la filière polymère, est une des actions fédératrices de l’équipe.

L'équipe est animée par Wilfrid Boireau. Accéder aux pages de l'équipe MIMU.

MIcro NAno MAtériaux et Surfaces (MINAMAS)

Croissance GLAD

Croissance GLAD

Historique
L'équipe MINAMAS compte des membres issus du LMS de Besançon (2 PR, 1 MCF), du Dpt CREST (2 MCF) et du Dpt Méca. Appli. (1 CR) de FEMTO-ST qui, avant la création du Dpt MN2S en 2008, travaillaient déjà ensemble dans différents projets ponctuels : 1 transversal à FEMTO (06-08), 2 régionaux (04-06), 1 interrégional (06-07), 1 INTERREG Franco-Suisse (06-07) et 1 STREP (04-06). Le recrutement d'1 PR et d’un MCF en 2008 a permis de renforcer l’équipe dans les domaines de la modélisation et de la nanotribologie. Avec 8 permanents (soit 4,5 ETPT), c'est la plus petite équipe du département MN2S.
Thématiques et objectifs
L'objectif général fixé par ses membres est de développer et d'apporter des connaissances sur les matériaux, les surfaces et les films minces structurés pour les micro et nanosystèmes ainsi que sur la mécanique et la physicochimie du contact. Ces recherches s'appuient sur de solides compétences et savoir-faire propres : (i) la maitrise des procédés d'élaboration et de structuration, (ii) la caractérisation des comportements multiphysiques, (iii) la modélisation, la prévision et la compréhension des procédés d'élaboration et des comportements multiphysiques des matériaux fonctionnels.
Spécificités et points forts
L'équipe MINAMAS est pluridisciplinaire dans le domaine des matériaux avec des compétences variées (en mécanique, en modélisations multiphysiques) permettant une bonne synergie interne et de multiples possibilités de collaborations extérieures. L'équipe mène ses recherches avec une approche globale qui va de l'élaboration de couches minces micro et nanostructurées par pulvérisation à la caractérisation multi-physique des matériaux et des surfaces en passant par la modélisation sur plusieurs échelles de longueur grâce à des méthodes de simulations atomistiques et des milieux continus. La proximité de la centrale de technologie MIMENTO, du mésocentre de calculs de l’Univ. de Franche-Comté et de la plate-forme de caractérisation de Dijon (accessible dans le cadre du PRES) place l'équipe MINAMAS dans une situation très favorable et rare en Europe. L'équipe est d’ailleurs la 1ère en Europe à avoir élaboré des structures par les techniques GLAD et "Gaz pulsé". Enfin, avec 58 ACL pour 3,75 ETPT sur le quadriennal, la production moyenne de l'équipe de 3,9 ACL/ETPT/an est importante. Elle témoigne de son dynamisme et de l’actualité de ses thématiques.

L'équipe est animée par Michel Devel. Accéder aux pages de l'équipe MINAMAS.

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