De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Bilan MIMU

Chapitres
  1. Bilan MIMU
  2. Projet MIMU

Bilan MIMU

Positionnement thématique

Historique
Équipe créée en janvier 2008 regroupant les activités “microsystème” de FEMTO-ST pour faire face à la compétition nationale et internationale. Elle est composée des chercheurs et chercheurs-enseignants provenant du LPMO (2 CR, 1 PR, 2 MC, 1 AI), LOPMD (1 DR), LCEP (1 PR), CREST (1 MC) et complétée par 2 recrutements extérieurs (2006 : 1 MC et 2008: 1 PR).
Thématiques et objectifs
Réalisation des microsystèmes multiphysiques complexes et innovants, intégrant des fonctions avancées en optique, mécanique, acoustiques, thermiques et biochimiques. On fait appel principalement à des technologies de microfabrication à base de silicium mais également à celles de polymères, matériaux piézo-électriques ou le verre. L’activité s’organise en 4 thématiques : (i) microsystèmes optiques; (ii) microsystèmes pour le biomédical ; (iii) microcomposants fluidiques et thermiques; et (iv) microfabrication de microcomposants multi-matériaux.
Spécificités et points forts
L’assise de l’activité de microsystèmes optiques sur silicium, reconnue nationalement et internationalement, est renforcée par une participation à plusieurs projets européens. L’émergence récente de l’axe «microsystèmes pour le biomédical», comme une deuxième thématique forte de l’équipe, apporte une coopération étroite avec le milieu hospitalier et combine l’ingénierie biochimique, les capteurs résonnants et la microfluidique. Le développement des outils de microfabrication, et notamment la filière polymère, est une des actions fédératrices de l’équipe.

Christophe Gorecki est le responsable de l'équipe MIMU.

Groupes de recherche

Microsystèmes optiques
vue d'un scanner Z

(1 best paper award, 2 best student poster awards) - Notre approche de microsystèmes optiques combine les technologies de micro-usinage silicium à la microoptique et la micro-opto-fluidique. De 2006 à 2009 nous avons privilégié la conception et le développement de microcomposants pour les microscopes optiques sur puce et l’étude du phénomène de réinjection de diode lasers VCSEL a été validée comme un principe de détection active pour ces microscopes. Un scanner x-y et un scanner z avec l’intégration de microlentille ont été réalisés pour le microscope confocal miniature. Les deux approches d’encapsulation pour ces microscopes sont l’intégration verticale « multi-wafer » et le micro-assemblage sur des bancs micro-optiques reconfigurables composés d’une table microstructurée en silicium avec des rails et des microcavaliers mobiles. Cette activité s’appuie sur une participation active à plusieurs projets européens (NEMO, SMARTIEHS, SCOMOC).

Microfabrication de microcomposants multimatériaux
cristallisation

(1 best student paper award)
On vise à développer des compétences scientifiques et technologiques pour la réalisation de micro et nano-systèmes en polymère et verre pour des applications microfluidiques, micro-optiques ou micro-opto-fluidiques (fig. 2). L’objectif est d’utiliser des matériaux non conventionnels (polymères, verre) et d’effectuer leur mise en forme en volume ou en surface aussi bien pour des substrats massifs que des feuilles minces. L’originalité est de permettre non seulement le prototypage rapide à bas coût, mais aussi la production en petite série, donc de développer des procédés de fabrication de microsystèmes, notamment basés sur la convergence des technologies et transférables au niveau industriel sans nécessiter un re-développement entier de toute la filière de réalisation. C’est le seul laboratoire français qui développe des techniques de micromoulage par injection pour la réalisation de microsystèmes polymères (projet européen 4M).

Microsystèmes pour le biomédical
microcapteur

L’objectif est de développer de nouveaux concepts de microcapteurs et microsystèmes d’instrumentations dans le domaine du diagnostic in vitro (IVD) et des dispositifs médicaux (MD). Les travaux se déroulent en interaction étroite avec des équipes de biologistes (IFR133, IFR100) et de cliniciens (CHU Dijon & Besançon, CIC-IT), contribuant à l’émergence de la plate-forme protéomique interrégionale CLIPP et contribuant aux sous-thématiques suivantes :
- réalisation de matrices de micro-aiguilles pour l’injection de médicaments et l’électroporation in-vivo (STREP ANGIOSKIN),
- développement de microcapteurs résonnants et de biopuces nanostructurées pour la détection sans marquage de biomolécules, de cellules et de micro-organismes dans des fluides biologiques,
- analyse d’interaction biomoléculaire par SPR (BIA) avec une identification «on-chip» des espèces par spectrométrie de masse.

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