De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Multicouches

Multicouches

Le développement des matériaux métalliques à hautes performances utilise des outils traités par des films dont les propriétés s’accompagnent nécessairement par une structure particulière. Depuis quelques années des structures multicouches, sont largement développées. Des procédés de co-pulvérisation permettent d’obtenir des structures multicouches périodiques. La qualité des interfaces peut être fortement améliorée grâce à un bombardement ionique entre chaque sous-couche ou lors de la croissance du film.

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Résultats marquants

- M.-H. Tuilier, M-J. Pac, G. Covarel, C. Rousselot, and L. Khouchaf, “Structural investigation of thin films of Ti1-x AlxN ternary nitrides using Ti K-edges X-ray Absorption Fine Structure”, Surf. and Coat. Technol. 201 (2007) 4536-4541

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