De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Propriétés de transport

Propriétés de transport

Les propriétés de conduction des films minces d’oxyde de titane dépendent de la concentration en oxygène mais également des barrières de potentiel aux joints de grains. Ces dernières peuvent être appréhendées par des mesures de conductivité électrique en température. Pour des rapports de concentration atomiques [O]/[Ti] inférieurs à 1, les films d’oxyde de titane présentent un comportement métallique alors qu’ils deviennent semi-conducteurs voire isolants lorsque ce rapport tend vers 2. La théorie de Werner (1994) permet de déterminer l’énergie de ces barrières de potentiel et par conséquent, leur contribution dans les phénomènes de conduction des films minces.

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Résultats marquants

- N. Martin, A. Besnard, F. Sthal, F. Vaz and C. Nouveau, “The contribution of grain boundary barriers to the electrical conductivity of titanium oxide thin films”, Applied Physics Letters 93 (6) (2008) 064102-3
- J.M. Chappé, N. Martin, J. Lintymer, F. Sthal, G. Terwagne and J. Takadoum, “Titanium oxynitride thin films sputter deposited by the reactive gas pulsing process”, Appl. Surf. Sci. 253 (2007) 5312-5316.

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