De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Structurer et architecturer

Structurer et architecturer

La technique GLAD (GLancing Angle Deposition) permet de jouer sur la structure et l’architecture des couches minces. Elle consiste à déposer le matériau sous incidence oblique sur un substrat fixe ou animé d’un mouvement de rotation. Par un phénomène d’ombrage se produisant à l’échelle atomique, un contrôle précis de la structure des films est obtenu à des dimensions de l’ordre de quelques dizaines de nanomètres. Des géométries en forme de zigzags, de bâtonnets ou encore de spirales sont fabriquées. Dimensions et tailles de ces formes peuvent également être modifiées à souhait en jouant sur les paramètres pertinents du procédé.

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Résultats marquants

- J. Lintymer, N. Martin, J.M. Chappé, P. Delobelle and J. Takadoum, “Modeling of Young’s modulus, hardness and stiffness of chromium zigzag multilayers sputter deposited”, Thin Solid Films 503 (2006) 177-189.
- J. Lintymer, N. Martin, J.M. Chappé and J. Takadoum, “Glancing angle deposition to control microstructure and roughness of chromium thin films”, Wear, 264 (2008) 444-449.
- N. Martin, K. Robbie and L. Carpentier, “Architecturer des couches minces par la technique GLAD”, Chapitre de l’ouvrage collectif”, Nanomatériaux et fonctionnalisation des surfaces” par J. Takadoum, Hermès, Paris, à paraître en 2008
- J. Takadoum, “Nanomatériaux, Traitement et Fonctionnalisation des Surfaces”, Hermes (Paris), (2008)

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