Départements de recherche

MOEMS


Groupe MOEMS

Site du groupe

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Responsable

Christophe GORECKI

Contexte

Le groupe MOEMS regroupe les activités portant sur le développement de “microsystèmes opto-électromécaniques”. Ces activités de recherche sont étroitement liées à la centrale technologique MIMENTO dont le groupe MOEMS est l’utilisateur le plus important de FEMTO-ST. Le groupe est également impliqué dans divers projets transverses avec plusieurs départements de FEMTO-ST (Optique, Temps-Fréquence, AS2M, Energie).


Objectifs et Thématiques scientifiques

Le programme de recherche du groupe MOEMS s’appuie sur le développement de technologies silicium/verre en vue de la conception de composants complexes suivant trois axes distincts :

› Microscopes optiques sur puce : en collaboration avec les départements AS2M et OPTIQUE, et via une plateforme d’intégration originale, réalisation de microscopes compacts et massivement parallèles avec le développement de briques technologiques de base (composants microoptiques, scanners MOEMS).

› Horloge atomique miniature à métal alcalin : développement d’horloges atomiques miniatures basées sur des cellules à vapeur alcaline micro-fabriquées et sur le principe du piégeage cohérent de population. Projet réalisé en collaboration avec le département TEMPS-FREQUENCE. Une telle horloge atomique est caractérisée par une taille de l’ordre de quelques cm3 et une stabilité relative de 10-11 à une journée d’intégration.

› Microsystèmes pour la récupération d’énergie thermique : axe également transverse, déployé en collaboration avec le département ENERGIE. Développement d’une nouvelle technologie de micromachines de Stirling pour la valorisation de l’énergie thermique perdue, à basse température, dans les procédés industriels.


Savoir-faire

Techniques de micro-usinage collectives principalement du silicium et du verre dans le but de réaliser des composants micro-optiques et des micro-actionneurs mécaniques. La fabrication monolithique ou l’assemblage hybride, associés à l’intégration multi-substrats, permettent de réaliser des microsystèmes particulièrement complexes.