De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Historique

Historique de l'équipe Nano-Optique

C'est au cours des années 1980 que le contrôle d'objets de dimensions submicroniques et la caractérisation des surfaces représentent un enjeu certain principalement dans le domaine de la microélectronique. Longtemps considérée comme un avantage spécifique, l'utilisation du rayonnement lumineux pour la métrologie dimensionnelle trouve une limite voisine de la demi longueur d'onde du rayonnement utilisé, de l'ordre de 0,3 µm pour le domaine de l'optique visible.

La période 1985-1988 voit alors se développer au Laboratoire d'Optique P.M. Duffieux un ensemble de recherches en microscopie optique visant des résolutions spatiales résolument sublongueur d'onde. Les travaux portent essentiellement sur l'optimisation du transfert optique en microscopie classique (étude de la cohérence), et l'analyse des possibilités offertes par l'acquisition d'images multiples, allant des modèles théoriques de formation des images à la conception des systèmes, en passant par le traitement statistique des images.

En 1987, placé devant l'impossibilité de dépasser efficacement les limites de la microscopie classique, le groupe bisontin lance une nouvelle voie de recherche basée sur la microscopie en champ proche par détection tunnel optique. Dès sa mise en place, l'originalité forte de cette nouvelle thématique repose sur le développement en parallèle d'études théoriques et expérimentales. Les travaux pionniers en France dans ce nouveau domaine de la microscopie optique, établissant un parallèle étroit avec la microscopie tunnel électronique (STM), aboutissent principalement à la proposition de nouveaux types de microscopes optique en champ proche, et à l'amélioration des connaissances de la propagation des champs lumineux non radiatifs. Les études trouvent alors pleinement leurs développements au sein de l'équipe traitant des problèmes de métrologie, conduisant en 1989, à la naissance de l'équipe "Nanométrologie" au laboratoire.

Comme marque de reconnaissance de l'importance des travaux menés au laboratoire, le groupe se voit chargé par la communauté des spécialistes de ce domaine de recherches, d'organiser grâce au soutien de H. Röhrer prix Nobel de Physique, NFO1- "First International Conference on Near-Field Optics" en 1992 à Arc et Senans près de Besançon, première manifestation d'une longue série de rencontres internationnales (NFO9 en septembre 2006). De même, les travaux du groupe ont fait l'objet de plusieurs distinctions scientifiques: prix Fabry de Gramont (1989), prix de la Société Française d'Optique (1991), Grand prix de la Société Française de Microtechniques et de Chronométrie (1991), prix Cristal du CNRS (1992), médaille d'argent du CNRS (1994), et prix du Club Nanotechnologie (2000).

L'accroissement des travaux menés dans le cadre de la thématique, et l'augmentation des effectifs amènent en 1995 à la création au laboratoire d'une équipe "Optique du Champ Proche" – OCP, qui en 1999 porte le nom "Nano Optique et Champ Proche" – NOCP, puis "Nano-Optique" - NO, à partir de 2008.

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