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Caractérisation des MEMS
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Exemples de projets
- Instrumentation, métrologie, santé environnement (pdf, 136 Ko)
- Instrumentation pour la fluidique (pdf, 213 Ko)
- Instrumentation pour les surfaces et les matériaux (pdf, 182 Ko)
- Vers le micro-assemblage automatisé (pdf, 961 Ko)
- Caractérisation morphologique et structurelle des MEMS (pdf, 152 Ko)