Départements de recherche

Accueil > L'institut > Projets > Projets FEDER > Projet 3S MEMS (spécialisation intelligente en Franche-Comté)

Projet 3S MEMS (spécialisation intelligente en Franche-Comté)


Projet 3S MEMS

(spécialisation intelligente en Franche-Comté)

salle-blanche-redim

Le projet 3S MEMS bénéficie d’un soutien financier de l’Union Européenne dans le cadre du programme opérationnel FEDER/FSE Franche-Comté et Massif du Jura 2014-2020 (objectif spécifique 1.1).

Ce projet vise à l’émergence d’une nouvelle filière de production des MEMS silicium pour capteurs innovants.

Il bénéficie d’un budget global d’environ 9 M€ et implique quatre partenaires régionaux : les sociétés SilMach (coordinateur du projet), Percipio Robotics, Frec|n|sys ainsi que la centrale technologique "MIMENTO" de l’institut FEMTO-ST, via l’Université de Franche-Comté (SAIC).

Le budget relatif à FEMTO-ST est d’environ 4 M€ pour une aide estimée à 3.4 M€. (75 %), avec une part d’autofinancement correspondant à la valorisation des heures dédiées à la mise en œuvre de ce projet par le personnel permanent (CNRS et UFC) de la centrale.

Le projet 3S MEMS fonctionnera selon un modèle "fabless" . Ainsi, les 3 partenaires industriels, ne disposant pas d’outils de production adaptés, sous-traiteront la fabrication des puces elles mêmes à la centrale MIMENTO qui jouera le rôle de "fonderie" microsystème.
Par ailleurs, des actions de formation seront menées pour inciter les étudiants et jeunes chercheurs à travailler dans ce domaine et rester dans la Région, contribuant ainsi à développer et ancrer ce futur axe de spécialisation sur notre territoire.

Le projet, d’une durée de 54 mois, a commencé au 1er juin 2015 et se terminera le 30 novembre 2019. Il nécessite l’implication de la totalité du personnel actuel de la salle blanche et le recrutement d’ingénieurs dédiés spécifiquement au projet. Il permet l’acquisition de nouveaux équipements à "l'état de l'art" et adaptés à cette nouvelle filière, contribuant ainsi à améliorer l'infrastructure de la salle blanche.
Des actions de formation complémentaires du personnel sont également prévues.

Au terme de la première phase du projet (durée 18 mois) qui s'est terminée en janvier 2017, la modernisation de la salle blanche MIMENTO a été achevée grâce à  l’installation des nouveaux équipements prévus dans le projet (machine de gravure silicium DRIE de 6 pouces, système de rinçage  SRD 6 et 4 pouces, microscope CD-SEM 6 pouces, nettoyeur masque et wafer, aligneur 6 pouces, système de contrôle d'alignement) mais aussi grâce à la revalorisation des équipements existants (piste d'enduction automatique de 6 pouces, pulvérisateur Trikon 6 pouces, achats de pièces de rechange pour la mise en oeuvre d'une maintenance préventive), le renforcement des ressources humaines dédiées (recrutement de deux ingénieurs de recherche et d'un assistant ingénieur pour la maintenance) et l'amélioration de l’infrastructure de la salle blanche (réseaux des fluides, travaux d'infrastructure pour installer les nouveaux équipements).

En décembre 2016 un équipement de gravure SPTS-RAPIER, dédié à la gravure plasma du silicium a été réceptionné. Il permet notamment la réalisation de microsystèmes sur substrat silicium ou SOI (Silicon On Insulator) de 6 pouces
Pour la centrale MIMEMTO, ce graveur apporte des capacités étendues en termes de recherche et développement et permet de pérenniser les infrastructures de la salle blanche à travers la mise en place d’une véritable plateforme industrielle, propice à l’accompagnement de PME innovantes. Pour SilMach, ce graveur offre l’opportunité de réaliser des prototypes à façon et des séries de pièces faisant appel aux savoir-faire « process » développé par cette entreprise. Cet équipement lui permet ainsi d'asseoir le déploiement de la technologie ChronoMEMS par des moyens de fabrication modernes et fiabilisés.

Depuis février 2017, le projet est dans sa deuxième phase (24 mois) et vise au développement des procédés de fabrication industrielle de capteurs ChronoMEMS sur les équipements dédiés.
Depuis septembre 2017 une ingénieure d’étude spécialisée dans les procédés salle blanche a été embauchée pour compléter l’équipe technique du projet. Plusieurs visites de la salle blanche ont également été organisées, destinées à la fois au personnel de l’unité, institutionnels (UFC, Région, Pôle des Microtechniques), et partenaires industriels. Par ailleurs, une présentation du projet 3S-MEMS a été effectuée lors de la réunion annuelle des professionnels du réseau RENATECH (28-29 mars 2017).

Pour obtenir plus d’informations sur l’implication de l’Europe dans la région merci d’activer le lien www.europe-en-franche-comte.eu

Contact

Christophe Gorecki, FEMTO-ST

christophe.gorecki@femto-st.fr

Tel : 33 (0)3 81 66 66 07

Logos financeurs