L'institut
Microscope électronique à balayage environnemental FEI / EDS

Vous êtes ici

Microscope électronique à balayage environnemental FEI / EDS

MEB environnemental FEI Quanta 450W
et EDS EDAX APEX 2i


Contact :

Roland SALUT
Bâtiment TEMIS Sciences, bureau N2-28
03 63 08 21 07 (Bureau)
03 63 08 23 10 (Salle MEB)
roland.salut@femto-st.fr


Site :

Salle Blanche TEMIS
Salle MEB


Fonctionnement :

L’interaction entre le faisceau primaire d’électrons et l’échantillon donne lieu à différents types d’émission. Le microscope Quanta 450W est équipé de différents détecteurs permettant de former des images grâce aux électrons secondaires et rétrodiffusés ainsi que d’analyser les RX émis (EDS).



Caractéristiques techniques :

- Filament de tungstène
- Tension 200 V à 30 kV
- Courant < 2µA
- Platine pseudo-eucentrique 5 axes 100 mm x 100 mm (tilt jusqu’à 70°)
- Modes high vacuum (10-4 Pa), low vacuum (<130 Pa), ESEM (<2600 Pa)
- Caméra infrarouge / NavCam
- Détecteur d’électrons secondaires Everhart-Thornley (rés. 5 nm @ 30 kV & 10 nm @ 3 kV)
- Détecteur d’électrons rétrodiffusés à semi-conducteur vCD (rés. 5 nm @ 30 kV)
- Détecteurs d’électrons secondaires gazeux pour mode environnemental
- Résolution max 3584 x 3094 pixels (16 bits)
- EDS SDD 10 mm² (analyses qualitatives et quantitatives, cartographies) / Détection des éléments à partir du Bore, résolution < 133 eV pour tx > 100.000 cps

Exemples d’images :