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Lithographie électronique Raith E_Line

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Lithographie électronique Raith E_Line

Lithographie électronique
Raith E_Line


Contact :

Roland SALUT
Bâtiment TEMIS Sciences - Bureau N2-28
03 63 08 21 07 (Bureau)
03 63 08 21 11 (Salle Lithographie E-Beam)
roland.salut@femto-st.fr


Site :
Salle Blanche TEMIS
Zone Lithographie



Fonctionnement :

La résine électro-sensible est déposée sur le substrat par spin-coating. Grâce au système Raith E_Line, cette résine est bombardée par un faisceau électronique de haute énergie selon un motif préalablement réalisé au format gdsii. Après développement dans une solution appropriée, la résine insolée va se dissoudre (cas d’une résine positive).




Les procédés complets ainsi que les datasheets des résines sont disponibles dans :

\\Maximus\partage\LPMO\TECHNO\doc_ebeam


Exemples de réalisation :