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MIMENTO
Centrale de Technologie
MIcrofabrication pour la MEcanique, les Nanosciences, la Thermique et l'Optique

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Ressources disponibles


D’un point de vue technique, les équipements sont répartis dans la centrale par ressources technologiques. Pour fabriquer un composant, il faut donc enchaîner des étapes entre ces différentes ressources :

  •  Lithographie (reproduction d’un design sur le matériau à l’aide de polymère photosensible ou électrosensible)
  • Dépôt (de matériaux présentant différentes propriétés : isolantes, conductrices …)
  • Gravure (usinage du matériau par voie chimique ou sèche par plasma)
  • Caractérisation (validation du dispositif tout au long des étapes de fabrication)
  • Connectique-packaging (conditionnement du composant final)
  • Photolithographie
  • Dépôts et Traitements thermiques
  • Gravure Plasma / Chimique
  • Nanotechnologies
  • Caractérisation
  • Connectique et Packaging
  • Microfabrication hors salle blanche
  • Ligne industrielle de micro-fabrication


 

La mise en ligne des moyens technologiques disponibles est soutenue par le projet INTERREG IGNITION, financé par les fonds européens INTERREG, la Confédération suisse, les Cantons de Vaud et Neuchâtel, le Conseil Régional de Bourgogne-Franche-Comté, le CNRS, l'Université de Franche-Comté, l'ENSMM et l'Ambassade de France.