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Interféromètre Fizeau


Interféromètre Fizeau (Zygo)

Photo_machine Zygo


Contact :

Franck CHOLLET
Bâtiment TEMIS Sciences – Bureau N3-05
03 63 08 26 22 (Bureau)

franck.chollet@femto-st.fr



Site :

Salle Blanche TEMIS
Zone caractérisation




Fonctionnement :

L’interféromètre Fizeau Verifire GPI XP permet de mesurer la déviation d’une surface par rapport à une surface de référence. Dans notre configuration, la surface de référence est un plan et l’interféromètre va créer des interférences entre la lumière réfléchie par ce plan et celle réfléchie sur le wafer à mesurer. En utilisant un algorithme basé sur le décalage de phase et la prise d’une série de plusieurs image, le logiciel GPI va retrouver le profil de l’objet mesuré (ou plus précisément la différence de profil entre le plan de référence et l’objet mesuré). L’intérêt de l’outil est qu’il permet une mesure rapide sur toute la surface d’un wafer de 100mm (4’’) avec une bonne résolution spatiale grâce à sa caméra 1000x1000.

Comme tout appareil optique il est limité par la nécessité de permettre à la lumière d’être réfléchie dans l’objectif du système, et les pentes trop fortes ne pourront pas être mesurées. De plus l’algorithme ne permet pas de suivre le profil en cas de saut brusque de phase et cet outil ne fonctionnera bien que sur un wafer présentant un profil continu, sans marche.

Set up_interféromètre Zygo



Caractéristiques techniques :

o Interféromètre de Fizeau à décalage de phase
o Caméra 1000x1000 pixels
o Zoom motorisé x1-x6
o Longueur d’onde de travail : 632 nm
o Champ de mesure : disque de 100 mm
o Dynamique : >50 µm
o Précision : <0.1 nm

Exemples de mesures :

Mesure-interféromètre Zygo

Profil d’un wafer de 100mm avec une couche mince