Départements de recherche

Dépôts et Traitements thermiques


Dépôts et Traitements thermiques


Il existe à l'Institut FEMTO-ST cinq techniques de dépôt de couches métalliques / diélectriques :

  • par PVD (Physical Vapor Deposition): Pulvérisation et Evaporation
  • par CVD (Chimical Vapor Deposition): CVD assisté par plasma appelée PECVD
  • par Electrolyse
  • par Oxydation thermique sèche ou humide

Photo-Dépôt


Équipements :


Pulvérisation Cathodique

PULVERISATION DC : PLASSYS
PULVERISATION REACTIVE D'ALN : PLASSYS
Pulvérisation Cathodique PLASSYS
Machine de Pulvérisation_Montbéliard


Evaporation

Evaporation à canon à électrons pour couche mince optique


PECVD

Equipement PECVD Sentech


Electroformage

Equipement Electrorformage Technotrans


Oxydation et Traitements Thermiques

Photo_Four triple tube


Contact :

cyril.millon@femto-st.fr