Départements de recherche

Aligneurs


Aligneurs

Simple face / Double face
Aligneur Double Face EVG


Contact :

Laurent ROBERT
Bâtiment TEMIS Sciences – Bureau N1-21
03 81 66 66 47 (Bureau)
03 63 08 21 00 (Salle Lithographie UV)
laurent.robert@femto-st.fr


Site :

Salle Blanche TEMIS
Zone Lithographie

Principe de fonctionnement :

Nous possédons 2 aligneurs. Le choix se fait selon les spécifications demandées (résolution à atteindre, le traitement double face ou non ou encore la forme insolite du substrat ou du masque).
Les 2 aligneurs sont équipés d’une lampe à vapeur de mercure produisant un spectre d’émission dans le proche ultra violet avec 3 raies principales adéquates pour l’exposition des résines utilisées : raie i à 365 nm, raie h à 405 nm et raie g à 436 nm.

Caractéristiques techniques :

Performances_Aligneurs


Exemples de réalisation :