La centrale de technologie de FEMTO-ST a été développée à partir de 1990, par l'Institut des Microtechniques de Franche-Comté (Fédération de recherche CNRS regroupant 6 laboratoires à Besançon, Belfort et Montbéliard). Elle est composée d'un ensemble d'équipements lourds destinés à la microfabrication et gérés par des personnels affectés spécifiquement à cette centrale.
La construction de cette centrale avait pour objectif de permettre aux laboratoires universitaires de disposer d'une infrastructure technologique de qualité dans le domaine des Microsystèmes. Elle a été élaborée avec l'aide du CNRS et des collectivités locales, en partenariat avec le Centre de Transfert en Micro et Nanotechnologies (CTMN).
En 2001, le CNRS et le Ministère de la Recherche ont accordé à l'IMFC le label de ”plate-forme spécifique”.En 2004, Suite aux regroupement des principaux laboratoires de l'IMFC en un laboratoire unique, le Ministère de la Recherche a labellisé la plate-forme technologique de FEMTO-ST qui est ainsi devenue la 6ème Centrale de Technologie Nationale. Elle fait partie, avec les 5 autres centrales (le CEA - LETI associé à la FMNT, l'IEF,l'IEMN, le LAAS, et le LPN), du Réseau de grandes centrales technologiques pour la Recherche Technologique de Base (réseau RTB) dont le but est de soutenir l'ensemble de la recherche institutionnelle française en mettant à disposition ses équipements et ses compétences auprès des centres de recherche demandeurs.
Cette Centrale est unique en France car elle est composée de trois modules complémentaires, un module de recherche très fondamentale en nanotechnologie avec des équipements de nano-caractérisation et de nano-gravure, un module de microfabrication salle blanche à dominante silicium disposant de plusieurs filières complètes de réalisation de micro-dispositifs et un module ”atelier pilote” (manufacturing center) destiné au soutien de la recherche finalisée et des entreprises locales en quête de technologies innovantes.
Avec ses 370 m² de surface de salle blanche, bientôt étendue à 800 m², elle est gérée par 15 Ingénieurs et Techniciens (doc, 51 Ko). La compétence de son personnel, sa gestion totalement informatisée, ses équipements de dernière génération à destination aussi bien de la recherche fondamentale qu'appliquée, en font un formidable outil de transfert de la connaissance vers le tissu industriel tant local que national.
La recherche menée en Franche-Comté est une recherche à double finalité, une finalité nationale et une finalité régionale. Il s'agit pour nous d'ancrer la région franc-comtoise dans des thématiques en bonne complémentarité avec les autres grandes régions technologiques. La Franche-Comté revendique donc un positionnement orienté micromécanique (silicium, traditionnelle et hybride) s'appuyant sur des domaines de compétence qui ont fait sa renommée, tels que l'optique, le temps-fréquence, les matériaux piézo-électriques et leur usinage et la mécanique.
Du point de vue des technologies de salle blanche, depuis 15 ans, l'IMFC s'est attaché à développer les filières suivantes en restant proche de la micromécanique et en recherchant une complémentarité avec les filières développées dans les autres centres nationaux :
La centrale de Franche-Comté a toujours réalisé des travaux pour des partenaires extérieurs, qu'ils soient industriels ou universitaires.
Conditions d'accueil de projets exogènes de la centrale MIMENTO :
Dans le cadre de l'ouverture des grandes centrales de technologies du réseau RTB, l'institut FEMTO-ST , s'engage à réaliser au sein de sa centrale de technologie des projets portés par des laboratoires extérieurs à un coût équivalent à celui de ses propres équipes de recherche dans la limite de 15 % du temps d'utilisation des équipements. Chaque demande sera examinée par un comité local, si le projet est accepté, il sera alors labellisé comme ”projet exogène de la centrale MIMENTO”.
Pour déposer une demande de projet vous pouvez compléter le document suivant : ”demande d'utilisation de la centrale de technologie MIMENTO”
Le principal partenaire de FEMTO-ST pour assurer les missions de service et de transfert est le Centre de Transfert en Micro et Nanotechnologies (CTMN). Le CTMN assure une mission de promotion et de transfert des technologies développées localement dans le cadre de MIMENTO. Les travaux de transfert se font principalement sous forme de prestations de services technologiques (études techniques, prototypage et études d'industrialisation). Ce type de mission est essentiel pour assurer une interface de qualité entre recherche et industrie.
Les principaux partenariats avec d'autres plate-formes technologiques sont les suivants :
Dans le cadre du réseau des grandes centrales de technologie (ou Réseau RTB ”Recherche Technologique de Base”) la centrale MIMENTO travaillent avec les laboratoires suivants :
C'Nano Grand Est :
Le Centre de Compétences en Nanosciences Grand Est ou C'Nano Grand Est vise à fédérer l'ensemble des laboratoires ou équipes travaillant dans le domaine étendu des Nanosciences dans le Grand Est avec pour préoccupation première l'étude d'objets de taille nanométrique. Sur la base du succès de l'opération menée autour des Centrales Technologiques de Proximités de Nancy/Strasbourg et de Besançon, le Ministère de la Recherche et de la Technologie offre l'opportunité d'établir une structure d'animation plus large visant à favoriser les échanges scientifique et technique entre les différents acteurs de la recherche en chimie, biologie et physique et à identifier cette grande région comme potentiellement apte à renforcer son rôle national en nanotechnologie. Cette ouverture à des objets fabriqués en dehors des centrales technologiques s'accompagne d'une extension géographique à des centres universitaires autres que Nancy, Strasbourg et Besançon.
Télécharger le premier document déposé au ministère de la recherche et des nouvelles technologies. Ce dernier sera complèté par les contributions des différents acteurs de C'Nano.
Depuis 2000, L'institut FEMTO-ST et certains instituts de recherche Suisses ont crée un Laboratoire Européen Associé, LEA Franco-Suisse ”Microtechniques”, dans le cadre de ce partenariat des collaborations ont lieu avec :