Guillaume Wong : " Développement de capteur à ondes élastiques de surface auto-encapsulés..."

Travaux de thèse : "Développement de capteur à ondes élastiques de surface auto-encapsulés aux fréquences intermédiaires sous environnement précontraint"

Résumé : Cette thèse s’inscrit dans les recherches et le développement de composants à ondes élastiques de surface dans des environnements à « hautes températures » de plus de 600°C. L’objectif est la réalisation de composants auto-encapsulés à ondes élastiques de surface pouvant atteindre une température de 900°C. Dans ces travaux, nous introduisons une méthode de modélisation du système permettant une résolution unifiée par la méthode des éléments finis d’un biais inhomogène. Cette méthode permet d’effectuer un calcul direct du problème de biais et d’en extraire les paramètres calculés avec la méthode de perturbation ainsi que d’autres paramètres. Cette méthode contribue à l’amélioration du réalisme des simulations numériques de structures soumises à de larges variations des paramètres environnementaux. Nous décrivons dans ce manuscrit la démarche de l’étude, la conception, la réalisation et les tests de résonateurs à ondes de surface non-encapsulés pour des cycles de recuits sous air atteignant les 900°C ainsi qu’un banc de mesures permettant de réaliser les mesures in situ. Nous évoquons également la conception et réalisation de l’encapsulation de ces résonateurs par une technologie innovante par Wafer-Level Packaging pour les hautes températures.

Jury de thèse : M. CRUNTEANU STANESCU Aurelian - Chargé de Recherche CNRS, XLIM - Rapporteur
M. AUBERT Thierry - Maître de Conférences HDR, Centrale-Supélec - Rapporteur
 M. THERON Didier - Directeur de Recherche CNRS, IEMN - Examinateur
M. CHOLLET Franck - Professeur des Universités, Université de Franche-Comté - Examinateur
M. DULMET Bernard - Professeur des Universités, E.N.S.M.M - Directeur de thèse
M. BARON Thomas - Ingénieur de Recherche HDR, E.N.S.M.M - Codirecteur de thèse

Localisation : Amphithéâtre Jean-Jacques GAGNEPAIN, TEMIS, 15 B avenue des Montboucons, Besançon